|
|
Патенты
-
Способ
эпитаксиального наращивания ограниченно растворимого амфифильного
вещества. RU 2137250, H01L 21/208, 1999.
-
Микроэлектронная
структура на основе «кремний-диэлектрик» для изготовления
полупроводниковых приборов и способ ее получения. RU 2193255, H01L 21/18,
2002.
|
