Тезисы устного доклада.
X Национальная конференция по росту кристаллов (НКРК-2002). Москва, Россия, 24 - 29 ноября 2002 г.Пленки Ленгмюра-Блоджетт жесткоцепного полиимида: получение и структура
С.И.Голоудина1), В.М.Пасюта1), М.Ф.Панов1), В.В.Лучинин1), В.П.Склизкова2), И.В.Гофман2), В.В.Кудрявцев2), В.В.Розанов3), А.О.Голубок3), В.В.Клечковская4)
1) Санкт-Петербургский Государственный электротехнический университет, 197376, С-Петербург, ул. проф. Попова, 5, тел. (812)2342757
2) Институт высокомолекулярных соединений РАН, 199004, С-Петербург, ВО Большой пр., 31.
3) Институт аналитического приборостроения РАН, 198103, С-Петербург, Рижский пр., 26
4) Институт кристаллографии РАН, 117333, Москва, Ленинский пр., 59
Пленки Ленгмюра-Блоджетт (ПЛБ) жесткоцепных полиимидов (ПИ) как диэлектрики обладают уникальными температурными и механическими свойствами, что делает их перспективными для использования в микро- и наноэлектронике. Однако, до сих пор высокий уровень дефектности ПЛБ ПИ препятствует их практическому применению.
Целью работы было изучение влияния условий формирования преполимера и способа имидизации (термической и химической) на морфологию, структурную упорядоченность и оптические свойства ПЛБ преполимера и полиимида.
Преполимером служила амфифильная соль жесткоцепной полиамидокислоты ДФ-оТД (соль ПАК), для получения которой использовался третичный амин с мультицепями - O', O', O" – тригексадеканоилтриэтаноламин. Установлено, что соль ПАК образует на поверхности воды стабильные монослои конденсированного типа. Монослои переносились на подложки кремния при давлении в монослое 30 и 35 мН/м. Перенос проходил по Y-типу. Полученные ПЛБ соли ПАК содержали 29 слоев. Межплоскостное расстояние в пленке, определенное по данным малоуглового рентгеновского рассеяния, составило 5,49 нм, что указывает на образование Y-структуры в пленке. Атомно-силовой микроскопией выявлены отличия морфологии ПЛБ соли ПАК, образованных при разных поверхностных давлениях в монослое, и ПЛБ ПИ полученных путем химической и термической имидизации ПЛБ соли ПАК. Методом отражательной эллипсометрии определено, что после имидизации толщина ПЛБ соли ПАК (94 нм) уменьшается до 21 нм в случае химической имидизации и до 16 нм в случае термической имидизации. Показатель преломления ПЛБ соли ПАК и ПИ после химической и термической имидизации составил соответственно 1,53, 1,61, 1,71. Методом дифракции электронов высоких энергий показано, что увеличение поверхностного давления в монослое при переносе приводит к формированию более упорядоченной структуры. Толщина одного слоя ПЛБ ПИ, рассчитанная по данным эллипсометрических измерений, составила для термически имидизованной пленки 0,55 нм, что хорошо согласуется с литературными данными, а для химически имидизованной – 0,72 нм.
С.И.Голоудина, В.М.Пасюта, М.Ф.Панов, В.В.Лучинин, В.П.Склизкова, И.В.Гофман, В.В.Кудрявцев, В.В.Розанов, А.О.Голубок, В.В.Клечковская. Пленки Ленгмюра-Блоджетт жесткоцепного полиимида: получение и структура // X Национальная конференция по росту кристаллов (НКРК-2002). Москва, Россия, 24 - 29 ноября 2002 г. с. 460