Тезисы стендового доклада.
IV Международная научная конференция «Химия твердого тела и современные микро- и нанотехнологии», г. Кисловодск, Россия, 19-24 сентября 2004 г.Влияние имидизации на надмолекулярную структуру пленок Ленгмюра-Блоджетт преполимера жесткоцепного полиимида
С.И.Голоудина1), В.В.Лучинин1), В.М.Пасюта1), В.В.Розанов3) В.П.Склизкова2), В.В.Кудрявцев2), А.Левин4), P.Paufler4)
1) Санкт-Петербургский Государственный электротехнический университет, Санкт-Петербург, Россия
2) Институт высокомолекулярных соединений РАН, Санкт-Петербург, Россия
3) Институт аналитического приборостроения РАН, Санкт-Петербург, Россия
4) Technische Universität Dresden, Dresden, Germany
Уникальный комплекс свойств жесткоцепных полиимидов (ПИ) обуславливает перспективность их применения в микро- и наноэлектронике. Особый интерес для практического применения представляют ультратонкие ПИ пленки (толщиной до 20 нм), формируемые с помощью метода Ленгмюра-Блоджетт. В ходе настоящей работы пленки Ленгмюра-Блолджетт (ПЛБ) преполимера (алкиламмонийная соль жесткоцепной полиамидокислоты (ПАК) ДФ-оТД с мультицепями третичного амина) наносились на поверхность Si-КДБ 1.0 (100) при давлении в монослое 25 мН/м. ПИ пленки получали в результате нагревания ПЛБ соли ПАК до температуры 400°С. На полученных с помощью метода атомно-силовой микроскопии (АСМ) изображениях поверхности пленок соли ПАК и ПИ видно, что они состоят из доменов округлой и удлиненной формы размером около 100 нм. В результате термической имидизации происходит уменьшение толщины и шероховатости поверхности ПЛБ, в то время как размер доменов практически не меняется. На основании анализа рефлектограмм ПИ пленок, содержащих 7, 11 и 29 слоев, определена их толщина, которая составила соответственно 3.8, 6.1 и 15.4 нм. Зависимость толщины пленки от количества слоев носит линейный характер, а расчетное значение толщины одного слоя составляет 0.55 нм, что соответствует размеру молекулы ПАК ДФ-оТД. Полученные ПИ пленки исследовались также методом эллипсометрии. Показатель преломления пленки, содержащей 29 слоев равен 1.7,а определенная этим методом толщина, составила 16.0 нм, что практически совпадает с данными рефлектометрии. Определение толщины более тонких пленок методом эллипсометрии оказалось некорректным. Шероховатость поверхности ПИ пленки толщиной 3.8 нм (7 слоев), по данным АСМ, составляет 1.94 нм. Это значение близко к величине шероховатости, определенной методом рефлектометрии – 1.15 нм. В тоже время полученные рефлектограммы свидетельствуют об отсутствии четко выраженной структурной упорядоченности в ПИ пленках.
Работа выполнена при частичной поддержке РФФИ (код проекта №02-03-32683)
Голоудина С.И., Лучинин В.В., Пасюта В.М., Розанов В.В., Склизкова В.П., Кудрявцев В.В., Левин А., Paufler P. Влияние имидизации на надмолекулярную структуру пленок Ленгмюра-Блоджетт преполимера жесткоцепного полиимида // IV Международная научная конференция «Химия твердого тела и современные микро- и нанотехнологии», 19-24 сентября 2004 г., г. Кисловодск. Материалы конференции. С.171-172.