Тезисы стендового доклада. Вторая Всероссийская конференция “Химия поверхности и нанотехнология”. Хилово, 24-29 сентября 2002 г.
Применение метода эллипсометрии для Исследования пленок Ленгмюра-Блоджетт жесткоцепного полиимида
В.М.Пасюта, М.Ф.Панов
Санкт-Петербургский Государственный электротехнический университет, 197376, С-Петербург, ул. проф. Попова, 5
Эллипсометрия является экспресс-методом бесконтактностного и неразрушающего контроля, который обладая высокой чувствительностью, позволяет проводить исследования состояния поверхности, структуры наноразмерных поверхностных слоев и определения их толщины и показателя преломления. Метод Ленгмюра-Блоджетт позволяет получать моно- и многослойные наноразмерные пленки органических веществ, причем толщина пленки полученной на твердой поверхности определяется числом слоев. Толщина каждого слоя определяется размерами молекулы используемого органического вещества и для полиимидов (ПИ) составляет 0,4-0,5нм.
В настоящей работе определены толщина и коэффициент преломления пленок Ленгмюра-Блоджетт (ПЛБ) гребнеобразного полиимидного преполимера - амфифильной соли жесткоцепной полиамидокислоты (ПАК-(С
18)3) и соответствующего полиимида методом отражательной эллипсометрии. Синтез полиамидокислоты и процесс имидизации ПЛБ соли ПАК проведены в Институте высокомолекулярных соединений РАН, Санкт-Петербург. Технология и методика получения ПЛБ преполимера и полиимида приведены в работе [1].Монослои ПАК-(С
18)3 переносились на подложки кремния (100) по Y-типу при давлении в монослое 30 и 35 мН/м. Коэффициент переноса каждого монослоя К@ 1. Полученные пленки ПАК-(С18)3, содержащие 29 монослоев, подвергались термической и химической имидизации. Измерения эллипсометрических углов осуществлялись на эллипсометре ЛЭФ-101. Расчеты толщины и коэффициента преломления ПЛБ проводились в рамках однослойной модели методом Холмса. Установлено влияние условий формирования ПЛБ и способа имидизации на толщину и коэффициент преломления ПЛБ преполимера и полиимида.
1. С.И.Голоудина, В.М.Пасюта, М.Ф.Панов, В.В.Лучинин, В.П.Склизкова, И.В.Гофман, В.В.Кудрявцев, В.В.Розанов, А.О.Голубок, В.В.Клечковская. Получение и структура пленок Ленгмюра-Блоджетт на основе жесткоцепного полиимида. Тезисы докладов Второй Всероссийской конференции “Химия поверхности и нанотехнология”. Хилово, 24-29 сентября 2002г.
В.М.Пасюта, М.Ф.Панов. Применение метода эллипсометрии для исследования пленок Ленгмюра-Блоджетт жесткоцепного полиимида // Вторая Всероссийская конференция “Химия поверхности и нанотехнология”. Хилово, Россия, 24-29 сентября 2002 г., с. 172